CCD型电动超高真空插板阀是通过电动装置驱动阀杆带动阀板作上下运动，达到阀门的开启或关闭。电动超高真空插板阀用于接通或切断真空管路中的气流。电动超高真空插板阀适用介质为纯净空气和非腐蚀性气体。电动超高真空插板阀带反馈信号装置。

电动超高真空插板阀主要零件材料

阀体、阀板：不锈钢
密封件：氟橡胶、波纹管(轴封)、丁腈橡胶

电动超高真空插板阀主要技术性能

适用范围：10⁵~1.3×10^-7 Pa
阀门漏率：≤1.3×10^-7Pa.L/S(DN≤200)；≤6.7×10^-7Pa.L/S(DN≤250)
适用温度：30~+150℃
阀门开启时阀板两侧的压差：≤2.7×10³Pa
电源：220V/50Hz

电动超高真空插板阀外形及连接尺寸